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白河縣計量檢定中心CMA/CNAS資質檢測機構
將傳感器Sa和Sb都調整到其滿量程一半的位置,待校正系統穩定后,由計算機進行定時定間隔采集數據。圖2-9是整個采樣過程15min,間隔5s采樣一次的測量結果。圖中橫坐標表示采樣樣本數,縱坐標表示傳感器Sa和Sb的漂移量,單位(mV)。采用該自校正系統中進行儀器校正時,被校正傳感器在整個測量范圍內校正一遍,一般約需10min。在這期間整個系統的變化量不超過2mV(約8nm)。精密電容測微儀進行自校正的可行性在實際的儀器校正過程中,每個數據都是取其20次采樣的平均值,高頻成分的影響將進一步減小。對分辨力4nm的傳感器來說,其高頻成分的影響可以忽略不計。雖然漂移情況往往隨時間的變化而變化,圖2-9是具有代表性的實例。
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☆超高精度設計,0.2/0.1級可選
☆10種單位可選:MPa/kPa/psi/BAR/Pa
mBAR/mmHg/mH2O/Torr/kgf/cm2
☆采樣速率可調
☆定時自動關機功能
量程范圍:
-1~11.62.54610...1000BAR
-100-60-40-25-10~10...100kPa
0~100kPa...1000kPa(絕壓)
精度等級:0.2%0.1%
溫度顯示精度:0.1℃
溫度精度:優于0.5℃
使用溫度:-10~50℃
補償溫度:0~40℃
供電電壓:3節5號電池或USB供電
電池壽命:連續工作3600小時
采樣速率:1-10次/秒可設
表盤直徑:105mm
接口螺紋:M20*1.5G1/4或其他標準螺紋
產品材質:304不銹鋼
測量介質:油、水、氣等無腐蝕介質
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測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
熱陰極電離規
如右圖所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進后的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
冷陰極電離規
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